8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備桌越的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn),用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口,既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào),也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺(tái)。 標(biāo)稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min 測量精度和重復(fù)性高 調(diào)控速度特別快 選配:現(xiàn)場總線接口 技術(shù)數(shù)據(jù) 標(biāo)稱流量范圍1) (Q標(biāo)稱) 1000萬升/分鐘2)至80升 N/min(氮?dú)猓?/p> 見表2 調(diào)低比為1:50,可根據(jù)要求提高調(diào)低比 工作氣體中性,無污染氣體, 應(yīng)要求 校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣 大工作壓力 (入口壓力) 10巴(145磅/平方英寸) 取決于閥門的孔 氣體溫度-10…+70°C(-10…+60°C,含氧) 環(huán)境溫度-10…+50°C 準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。 (預(yù)熱1分鐘后) 重復(fù)性±0.1%F.S。 穩(wěn)定時(shí)間(t95%)<300毫秒 材料 身體 住房 海豹 鋁或不銹鋼 PC(聚碳酸酯)或金屬 FKM、EPDM 端口連接NPT?,G?,螺紋接頭或法蘭, 其他應(yīng)要求 調(diào)節(jié)裝置 (比例閥) 閥孔板 k VS值 常閉式 0.05…4.0毫米 0.00006…0.32立方米/小時(shí) 電氣。連接 另外,現(xiàn)場總線: 插頭D-Sub 15針 帶PROFIBUS-DP:插座M12 5針 帶CANopen:插座M12 5針 24 V直流電源 電壓公差±10% 殘余波紋<2% 大功耗3.5…14 W (取決于使用的比例閥) 輸入信號(hào) 輸入阻抗 0…5伏,0…10伏,0…20毫安或4…20毫安 >20 kΩ(電壓), <300Ω(電流) 輸出信號(hào) 大電流(電壓) 大負(fù)載(電流) 0…5伏,0…10伏,0…20毫安或4…20毫安 10毫安 600Ω 數(shù)字通信 可能通過適配器: RS232,Modbus RTU(通過RS適配器) RS485、RS422或USB (見第3頁附件表) 現(xiàn)場總線選項(xiàng)PROFIBUS-DP,CANopen 防護(hù)等級(jí)IP40 尺寸[mm]見圖紙5-7 總重量約500 g(鋁體) 水平或垂直安裝 發(fā)光二極管 (默認(rèn)功能, 其他可編程功能) 電源指示, 限制(模擬信號(hào))/通信 (帶現(xiàn)場總線)和錯(cuò)誤 二進(jìn)制輸入 (默認(rèn)功能, 其他可編程功能) 二 1啟動(dòng)自動(dòng)調(diào)諧 2未的 二進(jìn)制輸出 (默認(rèn)功能, 其他可編程功能) 繼電器輸出: 1限制(未達(dá)到設(shè)定值) 大負(fù)載:25V,1A,25VA 1) 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個(gè) 額定流量范圍(可能的)定義了額定流量范圍。 2) 指數(shù)N:指1.013 bar和0°C的流量。 另外,還有一個(gè)指數(shù)S,指的是1.013巴和20°C T 8711型質(zhì)量流量控制器(MFC)是 適用于調(diào)節(jié)氣體的質(zhì)量流量 在大流量范圍內(nèi)。熱MEMS 傳感器直接位于氣流中 因此達(dá)到非常快的響應(yīng)時(shí)間。A Bürkert直動(dòng)比例閥 保證高靈敏度。集成PI 控制器確保了MFC的桌越控制特性。 8711型可選擇校準(zhǔn)兩個(gè) 不同的氣體;用戶可以在 這兩種氣體。作為兩者的電氣接口, 模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)和現(xiàn)場總線 可用。 8711型質(zhì)量流量控制器適用于各種應(yīng)用,如燃燒器控制、加熱 處理、材料涂層、生物反應(yīng)器、燃料 細(xì)胞技術(shù)或試驗(yàn)臺(tái)。 實(shí)際流量由傳感器檢測。這是根據(jù) 一種具有提供質(zhì)量流優(yōu)勢的熱學(xué)原理 與壓力和溫度無關(guān)。 總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到 設(shè)計(jì)的旁路通道能保證層流條件。 傳感器元件是一個(gè)芯片,浸沒在該流道壁中。 該芯片采用MEMS技術(shù)生產(chǎn),包含一個(gè)加熱電阻和 對(duì)稱布置的兩個(gè)溫度傳感器(熱電堆) 加熱器的上游和下游。的差動(dòng)電壓 熱電堆是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的測量。 校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)了傳感器的為一分配 通過裝置的總流量信號(hào)。 為了正確選擇MFC內(nèi)的致動(dòng)器孔,不僅 所需 大流量Qnom,也可直接取壓力值 在此流速下的MFC(p1,p2)前后Qnom應(yīng)已知。 總的來說,這些壓力與總進(jìn)口和 整個(gè)工廠的出口壓力,因?yàn)橥ǔS蓄~外的 流量電阻器(管道、附加切斷閥、噴嘴等)同時(shí)存在 控制器前后。 請(qǐng)使用第8頁的報(bào)價(jià)邀請(qǐng)函來說明 MFC前后的壓力。如果這些是未知的 或無法進(jìn)行測量,則應(yīng)通過 考慮到流量為Qnom時(shí),MFC前后流量電阻器上的近似壓降。 此外,請(qǐng)注明可能遇到的 大入口壓力p1 max。需要這些數(shù)據(jù)以確保致動(dòng)器能夠提供 在所有操作模式下關(guān)閉緊密功能。 
|